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Indiumzinnoxid

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Indiumzinnoxid (kurz ITO für englisch indium tin oxide) ist ein Stoff, der halbleitend und transparent ist. Es ist ein Mischoxid aus üblicherweise 90% Indiumoxid (In2O3) und 10% Zinn(IV)oxid (SnO2). Das Zinn(IV)oxid erzeugt als Dotiermittel die für eine gute elektrische Leitfähigkeit notwendigen Störstellen im Kristallgefüge des Indiumoxids. Dadurch werden bei hoher Transparenz dünner Schichten von typischerweise ca. 200 nm, Flächenwiderstände von ca. 6 Parser-Fehler (Das temporäre Verzeichnis für mathematische Formeln kann nicht angelegt oder beschrieben werden.): \Omega/\Box .

Der Stoff wird für die Herstellung transparenter Elektroden in Flüssigkristallbildschirmen, organischen Leuchtdioden und Touchscreens eingesetzt. Auch in Dünnschicht-Solarzellen findet er Verwendung. Als stark die Infrarotstrahlung reflektierender Halbleiter, wird ITO vereinzelt auch großflächig als Wärmeschutz auf Fensterglasscheiben aufgebracht. Ebenso können verschiedenste Oberflächen, beispielsweise Kunststoffolien, mit ITO beschichtet werden, damit diese sich nicht elektrostatisch aufladen. Dies im Bereich der Verpackung und Lagerung hochempfindlicher elektronischer Bauteile wichtig.

ITO wird üblicherweise durch Kathodenzerstäubung auf die entsprechenden Substrate - fast immer Gläser - aufgebracht. ITO kann aber auch im Hochvakumm aufgedampft werden, wobei allerdings die bedampften Bauteile auf bis zu 360°C erwärmt werden müssen, was die Anwendbarkeit, vor allem bei Kunststoffen, einschränkt. Eine weitere Möglichkeit ist das Sol-Gel-Verfahren, das auf dünnen, aber großflächigen Schichten eingesetzt werden kann. Dabei können die Substrate getaucht, besprüht, bedruckt oder durch Aufschleudern beschichtet werden. Nachteilig ist hierbei allerdings die für viele Anwendungen (LCD und OLED) zu geringe Schichthomogenität.

Durch den hohen Preis für Indium, der sich in den letzten Jahren vervielfacht hat, sind Schichten aus ITO relativ teuer. Die nur begrenzt verfügbaren Mengen an Indium beschränken mittelfristig beispielsweise die Massenanwendung in Dünnschicht-Solarzellen. Es wird daher intensiv an alternativen transparent-leitfähigen Beschichtungen gearbeitet. Aussichtsreiche Kandidaten sind dabei u.a.:

  • SnO2:F, Fluor dotiertes Zinn(IV)oxid (FTO =Fluor Tin Oxide)
  • ZnO:Al, Aluminium dotiertes Zinkoxid, (AZO =Aluminium Zink Oxide)
  • SnO2:Sb, Antimon dotiertes Zinn(IV)oxid (ATO = Antimony Tin Oxide)
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